バキュームアシスト付きポンプ
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真空アシスト付き自動ノン詰まりドライプライムポンプ
真空アシスト付きドライプライムポンプ (ドライメカニカルポンプとも呼ばれます) とは、大気圧下でポンピングを開始できるポンプを指し、オイルやその他の作動媒体を使用せずに大気中をポンプチャンバーに直接ポンプで送り込むことができます。機械式真空ポンプと同等またはそれに近い圧力および油封式真空ポンプ。 ドライ真空ポンプは、主に次のような側面で応用されています。 1) 低圧化学気相成長法によるポリシリコンの製造プロセス。 2) 半導体エッチング工程。これらの製造プロセスでは、腐食性ガスや研磨粒子が使用または生成されることがよくあります。 3) 半導体プロセス以外のパーティクルが発生する一部のプロセスに加えて、ポンプオイルにパーティクルが混入することは予想されず、パーティクルはポンプから排出され、その後、ある種のドライ機械真空が使用されることが期待されます。ポンプは要件を満たすことができます。 4) 化学工業、製薬工業、食品工業の蒸留、乾燥、脱泡、包装などにおいて、有機溶剤による汚染を防ぐため、ドライ真空ポンプに適しています。 5) 一般的なオイルフリークリーン真空システムのフロントポンプとして使用し、油汚れを防止します。
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